双三角光学测头的光路系统

  • Inventors:
  • Assignees: 北京信息科技大学
  • Publication Date: September 14, 2016
  • Publication Number: CN-103673884-B

Abstract

本发明与其他的双三角测头中的光学系统相比,对于成像系统,所得到的是放大的实像,实现了理论上的高灵敏度,并且由于成放大的实像使得整个系统的后截距较长,设计在光路中添加了两片全反射镜来改变成像光束的方向,减小测头外形尺寸。

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    Patent Citations (2)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      CN-102353684-AFebruary 15, 2012南京林业大学Method for acquiring laser meat image by double-laser triangle method
      US-5436725-AJuly 25, 1995Hughes Aircraft CompanyCofocal optical system for thickness measurements of patterned wafers

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