平面抛光盘表面形状误差的检测装置

Abstract

本发明提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置,设置有支撑座,在所述支撑座上端设置有横梁,在所述横梁上设置有导轨和电机,所述电机包括定子和动子,移动块通过滑块设置在所述动子和导轨上,并能沿着所述导轨左右移动,在所述移动块上设置有可调支架,所述可调支架与激光位移传感器连接,所述激光位移传感器由探测头、数据连接线和PC机组成,在所述探测头下设置有可调平台。本发明由于采用高稳定性导轨和高精度位移传感器,并且通过检测平面标准镜获得导轨的误差,因此可实现抛光盘表面形状的高精度测量。

Claims

Description

Topics

    Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

    Patent Citations (2)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle
      CN-101105389-AJanuary 16, 2008中国人民解放军第二炮兵装备研究院第四研究所High accuracy non-contact tri-dimensional facial type measuring device
      CN-103292729-ASeptember 11, 2013厦门大学Aspheric normal error detecting device

    NO-Patent Citations (0)

      Title

    Cited By (0)

      Publication numberPublication dateAssigneeTitle